重大突破！芯片光刻胶关键技术被攻克：原材料全部国产 配方全自主设计
发布时间：2024-12-28 17:13:15 作者：玩站小弟 
我要评论
我要评论快科技10月25日消息，据华中科技大学官微消息，近日，该校武汉光电国家研究中心团队，在国内率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。据介绍，其研发的T150A光刻胶系列产
。
快科技10月25日消息，重大自主据华中科技大学官微消息，突破近日，芯片该校武汉光电国家研究中心团队，光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍，原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，部国实现了原材料全部国产，产配配方全自主设计，重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示，芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料，用于芯片制造的胶关键技光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”
相关文章
近日，联发科发布了天玑 8400移动芯片，凭借越级的性能和能效成为新一代“神U”，续写了天玑8000系列的“神U”传奇。作为全球首款采用全大核架构的次旗舰芯片，天玑8400在安兔兔性能测试中，综合性能2024-12-28
任天堂新款游戏机Switch将推《王者荣耀》 或进军中国市场
原标题：《王者荣耀》今冬登陆Switch 任天堂股价创9年新高《王者荣耀》又要走出国门了!据《华尔街日报》19日报道，任天堂上周与腾讯达成协议，将于今年冬季在任天堂最新款游戏机Switch上推出风靡中2024-12-28
迪拜警察新座驾：悬空5米的飞行摩托！据英国《每日邮报》10月11日报道，近日，阿联酋迪拜警方引进了一款单座飞行摩托，这辆飞行摩托能够飞到16英尺(约5米)高的空中，时速可达43英里(约70千米)。警方2024-12-28
一加携手高通举办一加 13性能解读特别活动 首发多项独家性能黑科技
新酷产品第一时间免费试玩，还有众多优质达人分享独到生活经验，快来新浪众测，体验各领域最前沿、最有趣、最好玩的产品吧~！下载客户端还能获得专享福利哦！【机锋资讯】北京时间10月23日，一加携手高通线上举2024-12-28
ThinkPad X1 Carbon Aura AI元启版刷新商务AI PC巅峰体验
随着AI技术的深入应用，从数据分析到内容生成，再到高效日程管理，智能办公已成为商务人士不可或缺的需求。作为AI赋能的商务笔记本典范，联想全新推出的 ThinkPad X1 Carbon Aura AI2024-12-28
今日走势：国科微300672）今日强势封涨停板，该股近一年涨停14次。涨停原因揭秘：近年来，我国芯片产业发展迅速，华为全球首个人工智能芯片，以及超低功耗的第三代北斗芯片均成为我国芯片产业的有力代表。在2024-12-28
最新评论